產品描述 吸氣方式:球面快速、分割、分段式吸氣 ; 球面分割分段懸浮式快速吸氣、改善傳統吸氣方式節省大量吸氣時間、整面吸氣從中心向四周擴散;曝光臺面均經精密測試、曝光量均勻、均勻度高達85%以上;吸氣、曝光、放氣動作流程全自動完成;在曝光時可觀查到曝
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